设备特点:
1. 采用两套独立的电脑控制机械臂自动化作业;
2. 各槽配置独立抛动系统,增加硅片和溶剂的摩擦。
3. 各槽配置鼓泡管路,均采用PFA材质管件制作。
4. 酸槽配置冷却盘管,降低酸溶剂蒸发量;设置脊型缸盖,杜绝酸蒸汽释放到空气中,缸盖上设有喷淋系统。
5. 设备槽体均采用PVDF 6mm板材制作,耐酸碱性强。
6. 采用第三代**,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落。
7. **全自动补液技术,做到集中供酸和排放。配置接水盘,防止槽体漏液污染车间环境。
8. 独特的硅片干燥前处理技术,**硅片干燥不留任何水痕。
9. 成熟的硅片干燥工艺,多种技术集于一身。
10. 彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置及多工艺方式转换
11. 售后服务:保修期一年,提供终身维护。
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